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测量精度
2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
82mm光栅尺解析度
0.1um
测量精度
2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
82mm光栅尺解析度
0.1um
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2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
82mm光栅尺解析度
0.1um
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2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
82mm光栅尺解析度
0.1um
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2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
90mm光栅尺解析度
0.5um
测量精度
2.5+L/200重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
90mm光栅尺解析度
0.5um
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2.5+L/200重复精度
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18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
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2.5+L/200重复精度
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18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
90mm光栅尺解析度
0.5um
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2.5+L/100重复精度
2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
90mm光栅尺解析度
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2.5um总放大倍率
18~195X物方视场
8.1~1.3mm工作距离
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